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发明名称 BEHEIZEN EINES SUBSTRATTRÄGERS IN EINEM SUBSTRATBEHANDLUNGSRAUM
摘要
申请公布号 DE69906082(D1) 申请公布日期 2003.04.24
申请号 DE19996006082 申请日期 1999.07.13
申请人 AKT, INC.;BEER, EMANUEL 发明人 BEER, EMANUEL;SHEN, DUOYAN;ZOHAR, EITAN;KOLLRACK, M.
分类号 C03B32/00;C03B29/02;C23C16/46;G05D23/19;H01L21/00;H01L21/205;(IPC1-7):C03B29/02;C23C16/50;H01L21/314;C23C16/30 主分类号 C03B32/00
代理机构 代理人
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