发明名称 Beschichtungsvorrichtung
摘要 Die Erfindung betrifft eine Beschichtungsvorrichtung, die neben einem Rotationssieb 2 eine zentrale Zuführungsbohrung 3 zur Zuführung von Beschichtungsmaterial ins Innere des Rotationssiebes sowie einen Abstreifer 4 umfaßt. Weiterhin ist ein Einsatz 7 innerhalb des Rotationssiebes der Beschichtungsvorrichtung vorgesehen, welches das freie Volumen innerhalb des Rotationssiebes 2 um wenigstens 50% verringert. DOLLAR A Dadurch wird vorteilhaft die Menge an benötigtem Überschussmaterial verringert. Dies führt insbesondere bei nur kleinen Beschichtungsflächen oder geringen Mengen an zu beschichtenden Substraten zu einer deutlichen Kostenersparnis.
申请公布号 DE10147601(A1) 申请公布日期 2003.04.24
申请号 DE20011047601 申请日期 2001.09.26
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH 发明人 STOLTEN, DETLEF;DOHLE, HENRIK;MERGEL, JUERGEN
分类号 B05C1/10;B41F15/40;B41F15/42;(IPC1-7):B05C1/10;B41F15/38 主分类号 B05C1/10
代理机构 代理人
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