发明名称 |
Beschichtungsvorrichtung |
摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Beschichtungsvorrichtung, die neben einem Rotationssieb 2 eine zentrale Zuführungsbohrung 3 zur Zuführung von Beschichtungsmaterial ins Innere des Rotationssiebes sowie einen Abstreifer 4 umfaßt. Weiterhin ist ein Einsatz 7 innerhalb des Rotationssiebes der Beschichtungsvorrichtung vorgesehen, welches das freie Volumen innerhalb des Rotationssiebes 2 um wenigstens 50% verringert. DOLLAR A Dadurch wird vorteilhaft die Menge an benötigtem Überschussmaterial verringert. Dies führt insbesondere bei nur kleinen Beschichtungsflächen oder geringen Mengen an zu beschichtenden Substraten zu einer deutlichen Kostenersparnis.
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申请公布号 |
DE10147601(A1) |
申请公布日期 |
2003.04.24 |
申请号 |
DE20011047601 |
申请日期 |
2001.09.26 |
申请人 |
FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH |
发明人 |
STOLTEN, DETLEF;DOHLE, HENRIK;MERGEL, JUERGEN |
分类号 |
B05C1/10;B41F15/40;B41F15/42;(IPC1-7):B05C1/10;B41F15/38 |
主分类号 |
B05C1/10 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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