Verfahren und Vorrichtung zur optischen Untersuchung eines Objektes

摘要

In einer Vorrichtung zur Erzeugung eines dreidimensionalen Bildes eines Objektes (12) mit einem Objektiv (10) und einem Objekttisch (14) zur Aufnahme des Objektes (12) wird ein Piezoaktor (16, 22) zur Einstellung des Abstandes des Objektivs (10) vom Objekt (12) vorgesehen. Eine Bildaufnahmevorrichtung zeichnet eine Serie von Einzelbildern des Objektes (12) in verschiedenen Ebenen auf. Aus dieser Serie von Einzelbildern wird dann ein Multifokusbild erzeugt.