| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung umfassend: ein Spektrometer, Mittel zur ortsauflösenden Umwandlung von aus dem Spektrometer austretendem Licht in Ladung, eine Integratorschaltung zur ortsauflösenden Integrierung der Ladung, Mittel zur Darstellung der ortsabhängig integrierten Ladung, dadurch gekennzeichnet, dass die Integratorschaltung aus diskreten Bauelementen aufgebaut ist. Hiermit kann der Transport von Verunreinigung in einem Plasma besonders gut gemessen werden.</p> |
