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发明名称 HEATED SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY AND METHOD
摘要
申请公布号 EP1303869(A2) 申请公布日期 2003.04.23
申请号 EP20010959774 申请日期 2001.06.26
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 BJORKMAN, CLAES;DOAN, KENNY;PU, BRYAN;NOORBAKHSH, HAMID
分类号 H05H1/46;C23C16/458;C23C16/46;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/683;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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