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发明名称 A DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING A SMALL AREA OF CONTACT BETWEEN ELECTRODES
摘要
申请公布号 EP0946975(B1) 申请公布日期 2003.04.23
申请号 EP19970955058 申请日期 1997.10.02
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC. 发明人 GILGEN, BRENT
分类号 H01L27/10;H01L27/105;H01L27/24;H01L45/00;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
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