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发明名称 METHOD OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURE
摘要
申请公布号 SG95613(A1) 申请公布日期 2003.04.23
申请号 SG19990006680 申请日期 1999.12.29
申请人 KHIM SWEE YONG;KAPOOR RAHUL;LENG CHEN FUNG;KHIANG WANG CHUEN 发明人 SWEE YONG KHIM;RAHUL KAPOOR;CHEN FUNG LENG;WANG CHUEN KHIANG
分类号 H01L21/58;(IPC1-7):H01L21/58 主分类号 H01L21/58
代理机构 代理人
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