发明名称 VERY NARROW BAND LASER WITH UNSTABLE RESONANCE CAVITY
摘要
申请公布号 EP0992092(B1) 申请公布日期 2003.04.23
申请号 EP19980926365 申请日期 1998.06.05
申请人 CYMER, INC. 发明人 ERSHOV, ALEXANDER I.
分类号 G02B5/18;G03F7/20;H01S3/08;H01S3/1055;H01S3/13;H01S3/137;H01S3/225;(IPC1-7):H01S3/08;H01S3/105 主分类号 G02B5/18
代理机构 代理人
主权项
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