发明名称 THIN FILM TRANSISTORS AND THEIR MANUFACTURE
摘要
申请公布号 EP1303873(A1) 申请公布日期 2003.04.23
申请号 EP20010956512 申请日期 2001.07.04
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 FLEWITT, ANDREW, J.
分类号 G02F1/1368;H01L21/20;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 G02F1/1368
代理机构 代理人
主权项
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