| 发明名称 |
Projection exposure apparatus and device manufacturing method |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0863440(B1) |
申请公布日期 |
2003.04.23 |
| 申请号 |
EP19980301443 |
申请日期 |
1998.02.27 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
SEKINE, YOSHIYUKI;HIROSE, RYUSHO |
| 分类号 |
G02B27/00;G03F7/20;G03F7/22;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20;G02B5/18;G02B13/24 |
主分类号 |
G02B27/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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