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发明名称 Process for recovering substrates
摘要
申请公布号 EP0774776(B1) 申请公布日期 2003.04.23
申请号 EP19960115840 申请日期 1996.10.02
申请人 KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO ALSO KNOWN AS KOBE STEEL LTD.;KOBE PRECISION INC. 发明人 TAKADA, SATORU;INOUE, HIDETOSHI;HARA, YOSHIHIRO
分类号 H01L21/66;B24B9/06;B24B21/00;B24B37/04;H01L21/02;H01L21/30;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/30;H01L21/302 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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