发明名称 |
大电流雪崩和注入隧穿半导体-介质-金属稳定冷发射极 |
摘要 |
冷电子发射极(200、200-1、200-2)包括p型重掺杂的半导体(230)、介质层(245)及金属层(240)(p-D-M结构)。此结构的改进包括p区(230)下方的n+型重掺杂区(220)(n+-p-D-M结构)。这些结构使得可兼有大电流发射和稳定耐久的工作。由于在跨越介质层(245)的一定电压降下对于积累在介质层(245)附近p区(230)内耗尽层中的准平衡“冷”电子,实现了有效的负电子亲和性,能够得到大电流密度。由于p-D-M结构中的雪崩或n+-p-D-M结构中的注入过程而产生这些电子。这些发射极由于利用真空区中较低的抽取电场而很稳定,且不受来自被加速离子的沾污和吸收的影响。这些结构可用现有技术工艺来制造。 |
申请公布号 |
CN1412806A |
申请公布日期 |
2003.04.23 |
申请号 |
CN02147577.6 |
申请日期 |
2002.10.14 |
申请人 |
惠普公司 |
发明人 |
V·V·奥斯波夫;A·M·布拉特科夫斯基;H·比雷基 |
分类号 |
H01J1/308;H01J9/02 |
主分类号 |
H01J1/308 |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
程天正;梁永 |
主权项 |
1.一种电子发射极(200、200-1、200-2),它包含:p区(230);制作在所述p区(230)上的介质层(245);以及制作在所述介质层(245)上的金属层(240)。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |