发明名称 Integrated piezoresistive pressure sensor and relative fabrication method
摘要
申请公布号 EP0822398(B1) 申请公布日期 2003.04.23
申请号 EP19960830435 申请日期 1996.07.31
申请人 STMICROELECTRONICS S.R.L. 发明人 VIGNA, BENEDETTO;FERRARI, PAOLO;VILLA, FLAVIO
分类号 G01L9/00;G01L9/06;B81B3/00;B81C1/00;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/06 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
主权项
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