具沟渠源极线的快闪记忆体及其制作方法

摘要

一种具沟渠源极线的快闪记忆体及其制作方法，至少包含形成垫氧化层于基板上，再形成氮化物于垫氧化层之上；图案化氮化物及垫氧化层，蚀刻基板以形成沟渠于其中；执行离子布植植入离子于沟渠底侧，以利于形成重掺杂沟渠源极线，再回填填充材质于沟渠中；执行化学机械研磨平坦化基板；之后，形成隧穿氧化层于基板上；形成第一导电层于该隧穿氧化层之上；层间介电层形成于第一导电层之上；第二导电层形成于层间介电层之上；定义闸极结构，再分别实施离子布植。以利于形成汲极与源极以及形成环掺杂区域。

主权项

1、一种具沟渠源极线快闪记忆体，其特征是：它包括沟渠形成于其中的基板；重掺杂沟渠源极线位于该沟渠下侧区域；绝缘材质形成于该沟渠中；第一介电层形成于该基板上；第一导电层堆迭于该第一介电层之上做为悬浮闸极；第二介电层形成于该第一导电层之上；第二导电层形成于该第二介电层之上做为控制闸极。