| 发明名称 | 紫外光子复合辉光放电化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法 | ||
| 摘要 | 紫外光子复合辉光放电化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法，其特征是，它是用紫外光对直流辉光放电化学气相沉积金刚石膜反应腔中的生长衬底表面进行照射。用该方法制备金刚石薄膜具有生长速度快和质量高的优点。 | ||
| 申请公布号 | CN1412346A | 申请公布日期 | 2003.04.23 |
| 申请号 | CN01136303.7 | 申请日期 | 2001.10.09 |
| 申请人 | 黑龙江省光电技术研究所 | 发明人 | 申家镜;彭鸿雁;邵春雷;魏雪峰 |
| 分类号 | C23C16/27;C23C16/503 | 主分类号 | C23C16/27 |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 紫外光子复合辉光放电化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法，其特征是，它是用紫外光对直流辉光放电化学气相沉积金刚石膜反应腔中的生长衬底表面进行照射。 | ||
| 地址 | 157000黑龙江省牡丹江市光华街106－1号 | ||