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发明名称
摘要
申请公布号 JP2003514991(A) 申请公布日期 2003.04.22
申请号 JP20010538576 申请日期 2000.11.10
申请人 发明人
分类号 C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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