| 发明名称 |
Method and device for aligning a charged particle beam column |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002358245(A1) |
申请公布日期 |
2003.04.22 |
| 申请号 |
AU20020358245 |
申请日期 |
2002.10.04 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS ISREAL LIMITED |
发明人 |
ASHER PEARL |
| 分类号 |
G21K5/04;G01T1/29;G03F7/20;H01J;H01J37/04;H01J37/153;H01J37/21;H01J37/22;H01J37/26;H01J37/28;H01J37/305;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/26 |
主分类号 |
G21K5/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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