| 发明名称 |
Method for forming microstructures on a substrate using a mold |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002327444(A1) |
申请公布日期 |
2003.04.22 |
| 申请号 |
AU20020327444 |
申请日期 |
2002.08.09 |
| 申请人 |
3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY |
发明人 |
KENNETH R. DILLON;RAYMOND C. CHIU |
| 分类号 |
H01J9/02;C03C17/00;C03C17/22;H01J9/24;H01J11/02;(IPC1-7):H01J9/24;B29C33/42;B29C33/38;B29C43/22;B32B27/00;B29D11/00;B32B31/00;B32B3/00;B29C59/04 |
主分类号 |
H01J9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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