| 发明名称 |
Method for making a thin layer comprising all or part of component(s) and/or of circuit(s) |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002350823(A1) |
申请公布日期 |
2003.04.22 |
| 申请号 |
AU20020350823 |
申请日期 |
2002.10.07 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
MARC ZUSSY;BERNARD ASPAR;JEAN-FREDERIC CLERC |
| 分类号 |
G02F1/1333;H01L21/3105;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/762;H01L21/77;H01L21/84;(IPC1-7):H01L21/84 |
主分类号 |
G02F1/1333 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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