| 主权项 |
1.一种微镜装置,包括:(a)一基底;(b)至少两凸出支撑柱,于该基底上之左右侧之两行而凸出排列,并且藉由一既定间隔彼此分开;(c)复数悬臂,形成与上述基底平行,每一悬臂具有附着于各个凸出支撑柱之顶端部位的一端,并且制作成具有弹性恢复力的薄带状,其中彼此相邻的悬臂被排列成平行且交错;(d)镜面支撑柱,与上述悬臂之另一端的顶端部位耦接;(e)一镜面,附着于所有的镜面支撑柱之顶端部位上,并且藉由该等镜面支撑柱支撑;以及(f)两电极,形成于上述基底之左右侧,用以对于该镜面提供一静电力;其中,因为该微镜装置藉由于该电极与镜面之间施加电压产生的静电力及悬臂的弹性恢复力,反射入射该镜面的光至不同的方向。2.如申请专利范围第1项所述的微镜装置,其中上述悬臂数量为偶数,且彼此尺寸相同。3.如申请专利范围第1项所述的微镜装置,其中上述悬臂数量为奇数,排列于中间的悬臂之尺寸较其余的悬臂更大,并且其余悬臂具有相同的尺寸。4.如申请专利范围第1项所述的微镜装置,其中上述镜面系以金属制造。5.如申请专利范围第1项所述的微镜装置,其中上述整个镜面系以导电材料制造,且包括镀着单一层或双层高反射率金属的一光反射面。6.如申请专利范围第1项所述的微镜装置,其中上述电极系沿着上述悬臂下方形成,以便以一低电压驱动上述微镜装置。7.一种12光切换装置,包括:(a)光输入装置;(b)一微镜装置,以不同的两个方向反射自上述光输入装置输出的光,该微镜装置包括:(b-l)一基底;(b-2)至少两凸出支撑柱,于上述基底上以左右侧之两行凸出排列,且彼此以既定间隔分隔;(b-3)复数悬臂,平行于该基底而形成,每一悬臂具有一端附着于各个凸出支撑柱之顶端部位,且制作成具有弹性恢复力的薄板,其中与彼此相邻的该悬臂被排列成平行且交错的;(b-4)镜面支撑柱,与上述悬臂之另一端之顶端部位耦接;(b-5)一镜面,附着于所有的镜面支撑柱之顶端部位,且藉由该等镜面支撑柱支撑;以及(b-6)两电极,形成于该基底之左右侧,用以对于该镜面提供一静电力;其中,因为该微镜装置藉由于该电极与镜面之间施加电压产生的静电力及悬臂的弹性恢复力,反射入射该镜面的光至不同的方向;以及(c)两光输出装置,输出藉由该微镜装置反射的光。8.如申请专利范围第7项所述的12光切换装置,其中上述光输入装置及光输出装置皆以光纤制造。9.一种n2n光切换装置,包括:(a)n个光输入装置;(b)n个阵列排列的微镜装置,每一微镜装置以不同的两个方向反射自上述每一光输入装置输出的光,该微镜装置包括:(b-l)一基底;(b-2)至少两凸出支撑柱,于上述基底上以左右侧之两行凸出排列,且彼此以既定间隔分隔;(b-3)复数悬臂,平行于该基底而形成,每一悬臂具有一端附着于各个凸出支撑柱之顶端部位,且制作成具有弹性恢复力的薄板,其中与彼此相邻的该悬臂被排列成平行且交错的;(b-4)镜面支撑柱,与上述悬臂之另一端之顶端部位耦接;(b-5)一镜面,附着于所有的镜面支撑柱之顶端部位,且藉由该等镜面支撑柱支撑;以及(b-6)两电极,形成于该基底之左右侧,用以对于该镜面提供一静电力;其中,因为该微镜装置藉由于该电极与镜面之间施加电压产生的静电力及悬臂的弹性恢复力,反射入射该镜面的光至不同的方向;以及(c)2n个光输出装置,输出藉由每一微镜装置反射的光。10.一种影像显示装置,包括:(a)一光源;(b)二维阵列排列的微镜装置,每一微镜装置包括:(b-1)一基底;(b-2)至少两凸出支撑柱,于上述基底上以左右侧之两行凸出排列,且彼此以既定间隔分隔;(b-3)复数悬臂,平行于该基底而形成,每一悬臂具有一端附着于各个凸出支撑柱之顶端部位,且制作成具有弹性恢复力的薄板,其中与彼此相邻的该悬臂被排列成平行且交错的;(b-4)镜面支撑柱,与上述悬臂之另一端之顶端部位耦接;(b-5)一镜面,附着于所有的镜面支撑柱之顶端部位,且藉由该等镜面支撑柱支撑;以及(b-6)两电极,形成于该基底之左右侧,用以对于该镜面提供一静电力;其中,因为该微镜装置藉由于该电极与镜面之间施加电压产生的静电力及悬臂的弹性恢复力,反射入射该镜面的光至不同的方向;(c)一驱动电路,提供一电子信号至该等阵列排列的微镜装置之电极,使得入射阵列排列的微镜装置的光选择性地沿着一第一路径及第二路径反射;(d)一彩色滤光器,当沿着上述第一路径反射的上述光通过该彩色滤光器时,其显示与像素对应的颜色;(e)一萤幕,用以显示藉由通过上述彩色滤光器的光的影像;以及(f)一光吸收板,用以吸收沿着第二路径反射的光。图式简单说明:第1图系关于影像显示器的一习知微镜装置之分解立体图式;第2图系沿着枢纽之长度方向之中央线切割第1图之微镜装置的剖面图式;第3A图与第3B图系沿着垂直于枢纽之长度方向与中心线切割镜面之转动状态之剖面图式;第4图系根据本发明之实施例,应用于影像显示器之微镜装置之分解立体图式;第5图系第4图之微镜装置之平面图式,其中移除了镜面且自基底上方观察;第6A图与第6B图系根据本发明之实施例,显示于微镜装置内的镜面之转动驱动状态之概要图式;第7图系根据本发明之实施例之微镜装置之平面图式,其中移除了镜面且自基底上方观察;第8A图与第8B图系根据本发明之实施例,使用微镜装置之镜面之剖面图式;第9A图与第9B图系根据本发明之实施例,显示用以降低微镜装置内之驱动电压的一电极结构之平面图式与剖面图式;第10A图与第10B图系根据本发明之另一实施例,说明使用微镜装置的12光切换装置之操作图式;以及第11图系根据本发明之另一实施例,显示使用阵列排列的微镜装置的影像显示器之概要图式。 |
