| 主权项 |
1.一种研磨装置,属于用以研磨之基板的研磨部,及用以将基板搬入至上述研磨部的搬入部,及用以从上述研磨部搬出基板的搬出部所构成的研磨装置,其特征为:(1)上述研磨部系由:用以送出研磨带之送出手段,及用以卷取研磨带之卷取手段,及用以将从送出手段所送出之研磨带推向基板之背托体,及用以将该背托体前后方向地往复移动之往复移动手段分别所构成的第一及第二研磨头所构成;上述第一及第二研磨头系左右对称构造,分别对向排列成相对向之状态;基板之研磨系经由上述第一及第二研磨头之各该上述背托体,在位于上述背托体之各该表面上的研磨带与研磨带之间夹住基板,而前后方向地往复移动各该上述背托体进行研磨;各该上述背托体系具有用以局部地变更推向基板的研磨之压力的手段;(2)上述搬入部系由:用以移送基板之复数辊,及可旋转地安装此些辊之机框,及用以旋转辊之驱动手段分别所构成的第一及第二搬入体所构成;上述第一及第二搬入体系左右对称构造,上述第一及第二搬入体之各该上述辊分别对向排列成相对向之状态;基板之搬入系在相对向之上述辊彼此间之间夹住基板,藉由上述驱动手段旋转上述辊来进行搬入;(3)上述搬出部系由:用以移送基板之复数辊,及可旋转地安装此些辊之机框,及用以旋转辊之驱动手段分别所构成的第一及第二搬出体所构成;上述第一及第二搬出体系左右对称构造,上述第一及第二搬出体之各该上述辊分别对向排列成相对向之状态;基板之搬出系在相对向之上述辊彼此间之间夹住基板,藉由上述驱动手段旋转上述辊来进行搬出。2.如申请专利范围第1项所述之研磨装置,其中,用以局部性地变更推向基板的研磨带之压力的上述手段系由:设于上述背托体之表面的复数凹部,及排列于各该上述凹部之内部之用以喷出压缩空气的喷嘴所构成。3.如申请专利范围第2项所述之研磨装置,其中,由各该上述喷嘴所喷出的压缩空气量,系个别地电子控制。4.如申请专利范围第1项所述之研磨装置,其中,上述研磨部系具有用以左右方向地移动各该上述第一及第二研磨头的移动手段,藉由左右方向地移动各该上述第一及第二研磨头,在上述第一及第二研磨头之各该上述背托体之间夹住基板;上述搬入部系具有用以左右方向地移动各该上述第一及第二搬入体的移动手段,藉由左右方向地移动各该上述第一及第二搬入体,在上述第一及第二搬入体之各该上述辊彼此间之间夹住基板;上述搬出部系具有用以左右方向移动各该第一及第二搬出体的移动手段,藉由左右方向地移动各该上述第一及第二搬出体,在上述第一及第二搬出体之各该上述辊彼此间之间夹住基板。图式简单说明:第1图系表示本发明之研磨装置的前视图。第2图系表示图示于第1图之研磨装置之搬入部的前视图。第3图系表示图示于第1图之研磨装置之研磨部的前视图。第4图系表示图示于第1图之研磨装置之搬出部的前视图。第5图系表示图示于第1图的A-A线剖视图。第6图系表示图示于第5图的B-B线剖视图。第7(a)图系表示第3图的E-E线剖视图。第7(b)图系表示第3图的D-D线剖视图。第8图系表示第5图的C-C线剖视图。第9图(a)图系表示背托体之表面的图式。第9图(b)图系表示背托体的局部剖视图。 |
