| 主权项 |
1.一种具有托板定位检测功能之晶圆搬运装置,包括:一托板,设置有三反射单元及一定位窗;一机械臂装置,耦接该托板之一端并支撑该托板;一感测模组,具有一垂置信号产生器,用以发出一第一信号通过该定位窗,作为一垂直对准信号,以及三组水平侦测单元,分别用以产生一第二信号至对应之反射单元,并接收由该对应反射单元所反射之一水平侦测信号;一垂直信号接收装置,用以接收该垂直对准信号;一判别单元,耦接该垂直信号接收装置及感测模组,根据该垂直对准信号,判别该托板是否对准该垂直信号接收装置,并输出一位置修正信号,并且根据该等水平侦测信号,判别该托板是否位处于水平状态,若否则输出一警告信号;以及一机械臂驱动器,用以驱动该机械臂装置移动,并且根据该位置修正信号,修正该托板至对准该垂置信号接收装置。2.如申请专利第1项所述之具有托板定位检测功能之晶圆搬运装置,其中该判别单元更根据该等水平侦测信号,而计算出该托板之水平位置。3.如申请专利第3项所述之具有托板定位检测功能之晶圆搬运装置,更包括一显示单元,用以显示该警告信号。4.如申请专利第1项所述之具有托板定位检测功能之晶圆搬运装置,其中该垂置信号产生器系为一扩散式雷射光源。5.如申请专利第1项所述之具有托板定位检测功能之晶圆搬运装置,其中该等水平侦测单元,各包括一雷射光发射器,用以产生该第二信号,以及一接收器,用以接收该水平侦测信号。6.如申请专利第1项所述之具有托板定位检测功能之晶圆搬运装置,其中该等反射单元系为嵌入于该托板中之三个镜子。7.如申请专利第6项所述之具有托板定位检测功能之晶圆搬运装置,其中该定位窗及该垂直信号接收装置,分别具有一第一及一第二对准图案,当该第一信号通过该定位窗时,会产生具有该第一对准图案之该垂直对准信号,该判别单元并根据该垂直信号接收装置之第二对准图案,与该垂直对准信号之第一对准图案是否吻合,以判别该托板是否对准该垂直信号接收装置。图式简单说明:第1图系表示本发明之具有定位检测功能的晶圆搬运装置。第2图系表示本发明之感测模组的仰视图。第3图系表示本发明之托板的示意图。第4a-4c图为本发明之晶圆搬运装置,进行垂直位置定位之示意图。第5a-5b图为本发明之晶圆搬运装置,进行水平位置定位之示意图。 |
