矽晶圆外周部加工用之斜齿轮

摘要

本发明之课题系阐明来自于矽晶圆之斜削加工中之斜齿轮之金属污染之本质，并排除污染之原因，而可有高品质之晶圆之斜削加工。其解决手段系阐明斜齿轮之金属结合剂中所含有之金属成分中，铜、镍、锌易扩散至晶圆以完成本发明。即，于金属盘心1之外周部，固着有形成1条或复数条沟3之磨粒层2之斜齿轮10，而该磨粒层2之结合材料系一金属结合剂，且该金属结合剂中之金属粉末，系未含有铜、镍、锌中之任一者所组成者。

主权项

1.一种矽晶圆外周部加工用之斜齿轮,其系于金属盘心之外周部固着有形成1条或复数条沟之磨粒层,该磨粒层之结合材料系一金属结合剂,该金属结合剂中之金属粉末系未含有铜、镍、锌中之任一者之金属粉末者。2.如申请专利范围第1项之矽晶圆外周部加工用之斜齿轮,前述金属结合剂中之金属粉末,系由锡或银之任一者或两者,及钴或铁之任一者或两者所构成者,该金属结合剂之抗折强度为400-800MPa。3.如申请专利范围第2项之矽晶圆外周部加工用之斜齿轮,前述金属结合剂中之金属组成比例系锡或银之任一者或两者为5-40质量%,且钴或铁之任一者或两者为60-95质量%。图式简单说明:第1图系显示本发明之实施形态中之斜齿轮之部分截面图。第2(a)-(b)图系显示斜齿轮之全体形状例之图。第3(a)-(c)图系显示斜齿轮磨粒层之沟之形态之例子之图。第4(a)-(b)图系显示藉斜齿轮之研磨加工之例子之图。