METHOD FOR THE PRODUCTION OF METAL-CERAMIC COMPOSITE MATERIALS, ESPECIALLY METAL-CERAMIC SUBSTRATES AND CERAMIC COMPOSITE MATERIAL PRODUCED ACCORDING TO SAID METHOD, ESPECIALLY A METAL-CERAMIC SUBSTRATE.

摘要

Bei einem Verfahren zum Herstellen von Metall-Keramik-Verbundmaterialien, insbesondere Metall-Keramik-Substraten, werden als Verbindungskomponenten ein plattenförmiges Keramiksubstrat mit einer oxydierten Metallfolie durch Erhitzen in einer Schutzgasatmosphäre auf eine Prozesstemperatur durch Direct-Bonding miteinander verbunden. Hierfür sind die Verbindungskomponenten in einer innerhalb einer Kapsel gebildeten Reaktionsraum untergebracht, der von der äusseren Schutzgasatmosphäre durch die Kapsel getrennt oder nur über einen geringen Öffnungsquerschnitt mit der äusseren Schutzgasatmosphäre in Verbindung steht.