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发明名称 Polierzusammensetzung
摘要
申请公布号 DE69624326(T2) 申请公布日期 2003.04.17
申请号 DE19966024326T 申请日期 1996.12.19
申请人 LSI LOGIC CORP., FORT COLLINS 发明人 ALLMAN, DERRYL D.J.;CROSBY, WILLIAM J.;MAIOLO, JAMES A.
分类号 B24B37/00;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304;(IPC1-7):C09G1/02 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
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