| 发明名称 |
Verfahren und Stoffmischung zur Montage und Demontage von Halbleiterscheiben |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10031139(C2) |
申请公布日期 |
2003.04.17 |
| 申请号 |
DE20001031139 |
申请日期 |
2000.06.27 |
| 申请人 |
WACKER SILTRONIC AG |
发明人 |
RURLAENDER, ROBERT;SCHNEGG, ANTON |
| 分类号 |
C08L93/04;C09J5/00;C09J193/04;H01L21/00;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/58 |
主分类号 |
C08L93/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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