发明名称 Elektrochemisches Abscheideverfahren
摘要
申请公布号 DE69623245(T2) 申请公布日期 2003.04.17
申请号 DE19966023245T 申请日期 1996.12.16
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, PARIS 发明人 CAILLAT, PATRICE;MASSIT, CLAUDE
分类号 C25D17/08;C25D17/10;C25D17/12;H01L21/288;H05K3/24;(IPC1-7):H01L21/288;C25D5/02 主分类号 C25D17/08
代理机构 代理人
主权项
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