发明名称 TANTAL UND NIOBREAGENZIEN FÜR CVD UND BESCHICHTUNGSVERFAHREN
摘要
申请公布号 DE69529916(D1) 申请公布日期 2003.04.17
申请号 DE19956029916 申请日期 1995.09.14
申请人 ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 发明人 KIRLIN, PETER S.;VAARTSTRA, BRIAN A.;GORDON, DOUGLAS;GLASSMAN, TIMOTHY E.
分类号 C07F9/00;C23C16/18;C23C16/40;(IPC1-7):C23C16/00 主分类号 C07F9/00
代理机构 代理人
主权项
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