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经营范围
发明名称
TANTAL UND NIOBREAGENZIEN FÜR CVD UND BESCHICHTUNGSVERFAHREN
摘要
申请公布号
DE69529916(D1)
申请公布日期
2003.04.17
申请号
DE19956029916
申请日期
1995.09.14
申请人
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
发明人
KIRLIN, PETER S.;VAARTSTRA, BRIAN A.;GORDON, DOUGLAS;GLASSMAN, TIMOTHY E.
分类号
C07F9/00;C23C16/18;C23C16/40;(IPC1-7):C23C16/00
主分类号
C07F9/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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