| 摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung schafft einen mikromechanischen Sensor mit einem Substrat (1) mit einer darauf befindlichen Strukturschicht (3); einer unter einer Federkraft relativ zur Strukturschicht (3) beweglichen seismischen Masse (5); wenigstens einer Messkondensatorelektrodenanordnung (15, 16, 17) zum Erfassen einer Verlagerung der seismischen Masse (5) in einer Messrichtung; und wenigstens einer Antriebskondensatorelektrodenanordnung (18, 19) zum Auslenken der seismischen Masse (5) in eine Selbsttestrichtung; wobei die Messrichtung senkrecht zur Selbsttestrichtung ausgerichtet ist, sowie ein entsprechendes Optimierungsverfahren.</p> |
