发明名称 Burn-in-Vorrichtung mit Durchschnittsspannungs-Berechnungsschaltung
摘要 Eine Funktionstestschaltung (21) in einer Burn-in-Vorrichtung (200) ist auf einer Burn-in-Platine (30) befestigt und spezifiziert mehrere geprüfte Vorrichtungen (DUT), die normal funktionieren. Eine Durchschnittsspannungs-Berechnungsschaltung (26) berechnet die Durchschnittsspannung (Vave) für die Testspannung (V), die an mehrere spezifizierte geprüfte Vorrichtungen (DTU) auf einem Befestigungsabschnitt (1) angelegt ist. Eine Spannungskorrekturschaltung (27) empfängt die Durchschnittsspannung (Vave) und gibt ein Steuersignal (Vout) zur Steuerung der Sollspannung (Vs), die von einer Vorrichtungsstromversorgungs-Erzeugungsschaltung (13) ausgegeben wird, an. Somit kann diese Burn-in-Vorrichtung (200) die an die geprüften Vorrichtungen (DUT) angelegte Testspannung (V) leicht und mit hoher Genauigkeit einstellen.
申请公布号 DE10235461(A1) 申请公布日期 2003.04.17
申请号 DE20021035461 申请日期 2002.08.02
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 HASHIMOTO, OSAMU
分类号 G01R31/26;G01R19/00;G01R31/28;G01R31/30;G01R31/3183;(IPC1-7):G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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