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发明名称 Substrathalter für die Abscheidung aus der Dampfphase
摘要
申请公布号 DE69431327(T2) 申请公布日期 2003.04.17
申请号 DE19946031327T 申请日期 1994.05.24
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 ARUGA, MICHIO;OHKURA, ATSUNOBU;SAITO, AKIHIKO;ANAN, KATSUMASA
分类号 C23C16/458;(IPC1-7):C23C16/44;C23C14/50 主分类号 C23C16/458
代理机构 代理人
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