Method and arrangement for high resolution optical detection of samples

摘要

Anordnung eines optischen Modulators zur schnellen Modulation in einem Interferometerarm einer Interferometeranordnung zur Heterodyndetektion wobei vorteilhaft der Modulator im Meßarm des Interferometers angeordnet ist und gleichzeitig zur Schaltung und/ oder Strahlabschwächung in einem Laser-Scanning- Mikroskop dient, oder der Modulator im Referenzarm des Interferometers angeordnet ist und der Meßarm der Beleuchtungsstrahlengang eines Laser- Scanning - Mikroskopes ist . <IMAGE>