夹持基片的方法和装置

摘要

一种夹持基片的装置，它包括：用于以静电方法夹紧和夹持基片的一个静电卡盘；用于将直流夹紧电压加在所述静电卡盘上的夹紧电源；机械驱动所述静电卡盘的卡盘驱动装置；和通过将指令信息加在所述卡盘驱动装置上，控制所述卡盘驱动装置的运动和驱动控制部件。该装置还包括一个夹紧控制部件，它根据从驱动控制部件加在卡盘驱动装置上的指令信息，计算在所述静电卡盘机械运动时，所夹持的基片经受的在每一个时刻的加速度。另外，还可利用计算的加速度，计算在每一个时刻，夹紧基片所需的夹紧力；并可根据计算的夹紧力，改变从夹紧电源输出的夹紧电压，使静电卡盘产生计算的夹紧力。

主权项

1.一种用于基片夹持装置的基片夹持方法，该装置具有用静电方法夹紧和夹持基片的一个静电卡盘，和将直流夹紧电压加到所述静电卡盘的一个夹紧电源；所述方法包括：计算当所述静电卡盘机械运动时，根据被夹持的基片所经受的一个或多个加速度，在夹持基片的时间过程中的每一个时间点上，夹持所述基片所需的夹紧力；和根据所述的计算的夹紧力，改变从所述夹紧电源输出的夹紧电压，使所述静电卡盘产生所述的计算夹紧力。