| 发明名称 |
Methods of forming tungsten or tungsten containing films |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB0305544(D0) |
申请公布日期 |
2003.04.16 |
| 申请号 |
GB20030005544 |
申请日期 |
2003.03.11 |
| 申请人 |
TRIKON TECHNOLOGIES LIMITED |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C14/14;C23C14/16;C23C14/34;H01L21/28;H01L21/285 |
主分类号 |
C23C14/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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