薄板状工件的热处理装置

摘要

在用来向薄板状的工件传热的传热板的下部，介以电加热器配置多个珀耳帖器件的同时，配置冷却部分。

主权项

1、一种薄板状工件的热处理装置，其特征是具有：在上表面上具备有用来加热或冷却薄板状的工件的传热面的传热板；在上述传热板的下部被配设得可以均等且直接地加热上述整个传热面的电加热器；在上述电加热器的下部被排列配设得经由该电加热器可以有选择性地进行上述传热板的加热和冷却的多个珀耳帖器件；以及配设于上述珀耳帖器件的下部，使得为了冷却该珀耳帖器件而从该珀耳帖器件吸收热后放出的冷却部分。