可变形镜设备

摘要

一种可变形镜设备包括：衬底，一对从衬底的上表面伸出、相互间以预定距离隔开的支柱，安装于衬底上表面的电极，面向电极、由支柱所支撑的反射镜，支撑反射镜且具有预定刚性的第一和第二支撑件。支撑件位于反射镜与支柱之间，使反射镜的倾斜角度可以被电极与反射镜之间的静电吸引力所调整，电极与反射镜错开，使得分别在第一和第二支撑件与反射镜之间区域向电极施加的力不相等，从而可用以低的驱动电压容易地改变光束的行进路线。

主权项

1.一种可变形镜设备，包括：衬底，一对从所述衬底的上表面伸出并且相互间以预定距离隔开的支柱，安装于所述衬底的上表面的电极，面向所述电极、由所述支柱所支撑的反射镜，用于支撑所述反射镜、具有预定刚性的第一和第二支撑件，所述支撑件被连接于所述反射镜与所述支柱之间，使得所述反射镜的倾斜角度可以被在所述电极与所述反射镜之间的静电吸引力所调整，其中所述电极与所述反射镜错开，使得分别在所述第一与第二支撑件同所述反射镜之间区域向所述电极施加的力彼此不相等。