发明名称 Methods for reducing dopant diffusion in semiconductor processes
摘要
申请公布号 GB0305610(D0) 申请公布日期 2003.04.16
申请号 GB20030005610 申请日期 2003.03.12
申请人 UNIVERSITY OF SOUTHAMPTON 发明人
分类号 H01L21/331;H01L29/10 主分类号 H01L21/331
代理机构 代理人
主权项
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