| 发明名称 |
THIN FILM PROCESSING SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1301651(A2) |
申请公布日期 |
2003.04.16 |
| 申请号 |
EP20010952519 |
申请日期 |
2001.07.09 |
| 申请人 |
OPNETICS CORPORATION |
发明人 |
SFERLAZZO, PIERO;LEE, CHUNGHSIN |
| 分类号 |
C23C14/54;C23C14/04;C23C14/35;C23C14/46;C23C14/50;(IPC1-7):C23C14/46 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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