| 主权项 |
1、一种高性能应变合金纳米膜压力传感器，主要由下列部件组成：园形壳体(1)，其外臂从开口端向上依次有连接引压管的外螺纹(13)和起密封作用的“O”形密封圈(9)，其内臂有用于支撑园形承压杯(2)的凸出靠臂(12)；园形承压杯(2)，用以接受从园形壳体(1)开口处引入的压力，并使其杯底(2-5)产生形变而输出与压力值对应的电信号；支撑环(3)，它是一个上部开孔且焊接于园形承压杯(2)上的金属环，用以通过支撑柱(4)支撑高温线路板(5)；高温导电胶(8)，用以将园形承压杯(2)输出的电信号传递给高温线路板(5)，并通过高温线路板(5)的补偿调整后，由高温输出线(6)通过接头(7)向外输出，其特征在于：所述园形承压杯(2)的上部采用离子束溅射技术依次淀积有起绝缘作用的绝缘膜(2-1)、起电阻应变作用的应变合金纳米膜(2-2)、起氧化保护作用的保护膜(2-3)，另外，应变合金纳米膜(2-2)通过光刻工艺形成了平面电阻栅图案，电阻栅引线处淀积有将应变信号引出的引线膜(2-4)。 |
