发明名称 VAPOUR DEPOSITION
摘要
申请公布号 EP1301649(A1) 申请公布日期 2003.04.16
申请号 EP20010953374 申请日期 2001.07.17
申请人 NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO;CORUS TECHNOLOGY BV 发明人 SCHADE VAN WESTRUM, JOHANNES ALPHONSUS FRANCISCUS;LINDEN, JOANNES, LEONARD;VELTHUIS, JOHANNES, FRANCISCUS, MARIA
分类号 C23C14/24;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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