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发明名称
VAPOUR DEPOSITION
摘要
申请公布号
EP1301649(A1)
申请公布日期
2003.04.16
申请号
EP20010953374
申请日期
2001.07.17
申请人
NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO;CORUS TECHNOLOGY BV
发明人
SCHADE VAN WESTRUM, JOHANNES ALPHONSUS FRANCISCUS;LINDEN, JOANNES, LEONARD;VELTHUIS, JOHANNES, FRANCISCUS, MARIA
分类号
C23C14/24;(IPC1-7):C23C14/24
主分类号
C23C14/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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