Method and apparatus for dimension measurement and inspection of structures,申请号EP19980101206-传众专利搜索

发明名称	Method and apparatus for dimension measurement and inspection of structures
摘要
申请公布号	EP0932022(B1)	申请公布日期	2003.04.16
申请号	EP19980101206	申请日期	1998.01.23
申请人	ADVANTEST CORPORATION	发明人	FROSIEN, JUERGEN, DR.;KINTAKA, AKIRA
分类号	G01B15/00;G01N23/225;H01J37/305;(IPC1-7):G01B15/00;H01J37/256	主分类号	G01B15/00
代理机构		代理人
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