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经营范围
发明名称
AIR MANAGEMENT SYSTEM AND METHOD FOR CHEMICAL CONTAINMENT AND CONTAMINATION REDUCTION IN A SEMICONDUCTOR MANUFACTURING FACILITY
摘要
申请公布号
EP1301262(A1)
申请公布日期
2003.04.16
申请号
EP20010916239
申请日期
2001.02.27
申请人
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
发明人
OLANDER, W. KARL;WALKER, BRUCE
分类号
F24F7/06;B01D53/74;F24F3/16;F24F7/00;H01L21/00;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/00;B01D46/00
主分类号
F24F7/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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