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发明名称
Vacuum processing equipment configuration
摘要
申请公布号
USD473354(S1)
申请公布日期
2003.04.15
申请号
US19990099071F
申请日期
1999.01.12
申请人
HITACHI, LTD.
发明人
KATO SHIGEKAZU;NISHIHATA KOUJI;TSUBONE TSUNEHIKO;ITOU ATSUSHI
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
地址
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