发明名称
摘要
申请公布号 JP2003514387(A) 申请公布日期 2003.04.15
申请号 JP20010537769 申请日期 2000.09.29
申请人 发明人
分类号 H05H1/46;B01J19/08;C23C14/34;C23C16/505;H01J37/32;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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