| 发明名称 |
System for cushioning wafer in wafer carrier |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002332026(A1) |
申请公布日期 |
2003.04.14 |
| 申请号 |
AU20020332026 |
申请日期 |
2002.10.03 |
| 申请人 |
ENTEGRIS, INC. |
发明人 |
MATTHEW NICOLAS;DAVID MOLITOR;MICHAEL ZABKA |
| 分类号 |
B65D57/00;B65D81/03;B65D85/00;B65D85/30;B65D85/48;B65D85/86;B65G;H01L21/673;H01L21/68;(IPC1-7):B65D85/00 |
主分类号 |
B65D57/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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