发明名称 SCATTEROMETRIC MEASURING ARRAY AND MEASURING METHOD
摘要 <p>Bei einer Messanordnung mit einer Optikeinrichtung, in die zur Messung ein von einer Probe ausgehendes, divergierendes Strahlenbündel (10) eingekoppelt wird, und weiter mit einem der Optikeinrichtung nachgeordneten Detektor (13), der eine Vielzahl von in einer Ebene angeordneten, unabhängig voneinander auswertbaren Detektorpixeln aufweist, wobei die Optikeinrichtung (11) das divergierende Strahlenbündel (10) in einer ersten Richtung quer zur Ausbreitungsrichtung des Strahlenbündels (10) spektral zerlegt und auf den Detektor (13) lenkt, parallelisiert die Optikeinrichtung das Strahlenbündel auch noch, bevor es auf den Detektor (13) trifft, in einer zweiten Richtung quer zur Ausbreitungsrichtung derart, dass in der zweiten Richtung benachbarte Strahlen des auf den Detektor (13) treffenden Strahlenbündels zueinander parallel verlaufen.</p>
申请公布号 WO2003029770(A1) 申请公布日期 2003.04.10
申请号 EP2002010476 申请日期 2002.09.18
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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