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发明名称 Methoxymethysilylolefin-Ligand enthaltende Vorläuferverbindungen zur Abscheidung von Kupfer
摘要
申请公布号 DE69719481(D1) 申请公布日期 2003.04.10
申请号 DE19976019481 申请日期 1997.11.04
申请人 SHARP K.K., OSAKA;SHARP MICROELETRONICS TECHNOLOGY, INC. 发明人 SENZAKI, YOSHIHIDE;CHARNESKI, LAWRENCE JOEL;KOBAYASHI, MASATO;NGUYEN, TUE
分类号 C07F7/18;C23C16/18;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):C07F7/18 主分类号 C07F7/18
代理机构 代理人
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