METHOD FOR DEPOSITION OF TRANSPARENT SILVER-CONTAINING METAL LAYERS

摘要

In zahlreichen technischen Anwendungen werden Schichten mit hoher optischer Transparenz und guter elektrischer Leitfähigkeit benötigt, wobei oftmals möglichst dünne Schichten mit diesen Eigenschaften angestrebt werden. Häufig kommen zur Herstellung derartiger Schichten Verfahren der Magnetron-Zerstäubung zur Anwendung. Durch den Einsatz einer Entladungsspannung oberhalb von 700 V lässt sich die Schichtdicke silberhaltiger Schichten bei gleichem Flächenwiderstand und verbesserter optischer Transparenz deutlich verringern. Herstellung von Flachbildschirmen, Dünnschichtsolarzellen, Elektrolumineszenzsystemen etc.