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经营范围
发明名称
Verfahren zur beschleunigtenPrüfung von Halbleitervorrichtungen
摘要
申请公布号
DE69719441(D1)
申请公布日期
2003.04.10
申请号
DE19976019441
申请日期
1997.09.26
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人
SHIMADA, YASUHIRO;NAKAO, KEISAKU;INOUE, ATSUO;AZUMA, MASAMICHI;FUJII, EIJI
分类号
G01R31/26;G01R31/28;G01R31/30;G11C11/22;G11C29/50;G11C29/56;H01L21/66;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):G11C29/00
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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