PIEZO-ELECTRICAL COMPONENT AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF

摘要

Die Erfindung beschreibt ein Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Bauelements,das zumindest zwei Stacked-Crystal-Filter umfasst. Durch das Abscheiden des Schichtstapelsüber der unteren Elektrode und der anschliessenden Strukturierung der oberen elektrisch leitfähigenSchicht und ggf. zweiten piezoelektrischen Schicht kann auf einfache Weise, mit einem Minimuman Prozessschritten, ein piezoelektrisches Bauelement erzeugt werden, das zwei Stacked-Crystal-Filterumfasst, die über ihre untere und mittleren Elektrode direkt miteinander verbunden sind. Daserfindungsgemässe piezoelektrische Bauelement besitzt darüber hinaus den Vorteil, dassAnwendungen, bei denen es auf eine hohe Sperrbanddämpfung ankommt, mit einer relativgeringen Anzahl an Filterstufen realisiert werden können. Dabei kann durch den Einsatz vonzumindest zwei Stacked-Crystal-Filtern eine ausgezeichnete Fernabselektion auch für "single-ended Signale" erzielt werden.